1000℃超高温稳定运行:采用超耐热合金板材,最高温度可达 1000℃,满足无机材料热处理、耐热性评价等严苛高温工艺需求;
多型号与特殊工艺适配:PA 系列为基础款(50×50/100×100mm),RP 系列为带安全炉体的升级款(80×80/200×200mm),RP 系列支持石英滚筒气体置换、双面加热,适配惰性气氛下的材料处理;
高精度与智能化控制:可搭配 PCC100G、PCC107 程序式控制器(PA 系列),或 PCC118-TP 触摸屏控制器(RP 系列),实现从数据采集到配方制作的全流程管理;
工业级安全防护:RP 系列炉体自带安全功能,可选带过温监控的控制器,降低高温操作风险;
多样化工艺适配:可用于晶圆处理、材料表面研究、烘焙等场景,支持钛制晶圆载体批量处理工件。
行业顶级控温:稳定实现 1000℃高温环境,满足最严苛热处理需求;
气氛加热能力:RP 系列支持惰性气体置换,适配特殊材料工艺;
智能化控制:触摸屏控制器支持配方管理与数据记录;
安全防护升级:RP 系列炉体自带安全功能,降低操作风险;
多规格可选:平台尺寸覆盖 50×50mm~200×200mm,适配不同工件。
无机材料高温热处理与耐热性评价
惰性气氛下的材料烧结与处理
晶圆处理与半导体工艺前处理
材料表面研究与高温烘焙工艺开发
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 品牌 | SAFACTORY(日本) |
| 型号 | PA10000/RP1000 系列(PA10005/PA10010/RP10008/RP10020) |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 平台尺寸 | 50×50mm、100×100mm、80×80mm、200×200mm |
| 板材材质 | 超耐热合金 |
| 供电方式 | AC100V/AC200V(依型号而定) |
| 温控器选项 | PCC100G、PCC107(PA 系列);PCC118-TP 触摸屏(RP 系列) |
| 特殊选项 | 石英滚筒气体置换、双面加热(RP 系列) |
| 核心用途 | 高温热处理、气氛置换加热、晶圆处理 |
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