日本 SAFACTORY 带盖超高温加热板

• 宽温区高温稳定运行：覆盖 400℃、800℃、1000℃三个温度等级，最高温度可达 1000℃，适配不同工艺对温度的需求；带盖结构有效减少热量散失，提升加热效率与安全性；

• 大型工件适配能力：提供多种平台尺寸，最大可达 400×200mm（PA4040-SC），支持大型基板、玻璃等工件的加热处理，也可定制适配不同规格工件；

• 丰富的定制化功能选项：支持电动升降机、真空吸盘、电动输送面、石英滚筒气体置换等功能定制，可实现基板上下驱动、翘曲控制、惰性气氛加热等特殊工艺需求；

• 高精度与安全控制：可搭配 PCC100G 数字温控器或 PCC118-W-TP 触摸屏控制器，实现精准温控；控制器配备过温监控、紧急停止、漏电检测等多重安全功能；

• 多场景工艺适配：适用于材料研究与评估、无机材料热处理、耐热性评价、烘焙等场景，RP 系列支持双面加热和石英制炉选项，可用于材料的气体置换加热。

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核心性能与优势

• 宽温区覆盖：400℃~1000℃多型号可选，满足不同工艺温度需求；

• 大型工件适配：平台尺寸最大 400×200mm，支持大型基板、玻璃加热；

• 定制化功能：电动升降、真空吸附、气氛加热等功能按需定制；

• 安全可靠运行：多重安全保护功能，降低高温操作风险；

• 高精度温控：搭配专用控制器，实现精准温度控制与工艺曲线管理。

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典型应用场景

• 大型基板、玻璃的高温加热处理

• 晶圆加热与半导体工艺前处理

• 惰性气氛下的材料热处理与烧结

• 工业级材料耐热性评价与烘焙工艺开发

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核心规格一览