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EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器

产品名称: EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器
产品型号:
产品特点: EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器
全 PFA 流道、低功率密度设计，适配小流量酸碱药液管线恒温加热。

EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器 的详细介绍
EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器
EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器
本设备为 EKUSA 原装 EXS 系列微型管线式氟树脂加热器，适配半导体清洗设备小流量管线在线加热，全部接触药液腔体采用高纯 PFA 材质，无金属析出污染；采用低功率密度发热设计，大幅延长加热器使用寿命。设备兼容超纯水、酸性药液、碱性药液多种腐蚀流体，机身小巧紧凑，支持立式、卧式两种安装方式，狭小产线空间也可轻松布设。

多功率规格覆盖 2~8kW 小流量工况，区分单次直通 / 循环两种基准流量，标配标准 PFA 软管接口，轻量化机身安装调试简单，适配实验室、小型晶圆清洗设备微量药液加温需求。


核心性能与优势

  • 全 PFA 过液结构，高纯无析出，耐酸碱、腐蚀

  • 低功率密度发热结构，降低老化速度，设备寿命更长

  • 适配超纯水、酸 / 碱各类半导体制程药液加热

  • 紧凑圆筒机身，支持竖装、横装两种安装形式

  • 轻量化设计，重量仅 2~5kg，现场拆装便捷

  • 分直通、循环双流量标准，匹配微量药液产线需求


典型应用场景

  • 小型半导体晶圆清洗设备微量药液在线加温

  • 实验室高纯酸碱、超纯水循环恒温系统

  • 精密电子、光伏小样试制小流量腐蚀液加热


核心规格一览
表格
项目规格说明
型号EXS20(2kW)/EXS40(4kW)/EXS60(6kW)/EXS80(8kW)
加热功率2/4/6/8kW
过液材质全部接液部位 PFA
外形宽度 W120mm，长度 L120mm，高度 180~450mm 随功率递增
管路接口EXS20/40 配 1/2"PFA 管；EXS60/80 配 3/4" PFA 管
整机重量2kg、3kg、4kg、5kg
基准流量直通 0.5~2L/min；循环 2~8L/min
安装方式立式、卧式均可安装


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