产品资料
首页 >>> 产品中心 >>> 机械设备 >>> 加热器 >>> EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器

EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器

产品名称: EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器
产品型号:
产品特点: EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器
整机集成 PID 温控柜，全 PFA 过液适配大流量超纯水产线恒温加热。

EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器 的详细介绍
EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器
EKUSA EHS 型半导体超纯水在线加热器
本设备为 EKUSA 原装 EHS 系列立式一体化超纯水在线加热机组，专为半导体产线大流量超纯水连续加温设计，所有接触纯水腔体全部采用高纯 PFA 材质，无杂质析出，可兼容腐蚀性纯水工况。采用低温发热丝设计，加热器使用寿命长久，无需频繁更换加热芯。

设备内置整套 PID 温控系统，恒温精度可达 ±1℃，支持远程外部信号联动控制；内置多重安全传感，包含水温过热、加热管过热、流量异常、漏液检测报警，突发停机时流体温升仅 10℃，耐流量波动与水击冲击，运行稳定可靠。整机立式紧凑柜体，自带操作面板，安装维护便捷，可适配 25~150KW 大流量纯水循环产线。


核心性能与优势

  • 全 PFA 过液结构，低析出，保障超纯水高纯等级水

  • 一体化柜体集成 PID 精准温控，恒温误差 ±1℃，支持远程通讯控制

  • 低温发热设计，加热器无需频繁更换耗材

  • 多重安全防护：过热、断流、漏液全监测报警，停机温升可控

  • 承压 0.4MPa，标准耐温 90℃，高温工况最高可至 150℃

  • 25~150KW 多功率规格覆盖大流量产线，支持 400V 高压电源定制


典型应用场景

  • 半导体晶圆清洗产线大流量超纯水在线恒温加热

  • 光伏、电子行业高纯超纯水循环加温系统

  • 制药、精密化工高纯度纯水连续温控工序


核心规格一览
表格
项目规格说明
型号EHS-1(25KW)/EHS-2(50KW)/EHS-3(75KW)/EHS-4(100KW)/EHS-5(125KW)/EHS-6(150KW)
加热功率25~150KW，标准 AC200V 三相，可选 400V 电源
温控系统PID 闭环控制，恒温精度 ±1℃（流量稳定时）
过液材质接触纯水部位 PFA，柜体框架 SUS304 不锈钢
标准工况工作压力≤0.4MPa，标准最高液温 90℃，高温款 150℃
管路接口3/4 英寸 PFA 软管接口
标配保护水温过热、加热器过热、流量异常、漏水检测报警
可选配置单通道 / 循环两用控制、水质监测传感器、液位传感器、定制接头
外形尺寸宽度 500~1200mm，深度 350~600mm，高度 1200~1700mm


产品留言

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

上一篇：EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器
下一篇：EKUSA EXS 型 PFA 小型在线药液加热器

深圳市秋山贸易有限公司版权所有 地址：深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋B座1002

化工仪器网提供技术支持 粤ICP备17112569号 管理登陆 GoogleSitemap
13823147125
13823147125
在线客服
手机
13823147125

微信同号