射频电源:5~10kW
最高温度:1000~1500℃(受加热组件限制)
下拉速度:0.01~200 mm/min
振荡频率:50 kHz
供电条件:三相 200V±10%,50/60Hz
腔体结构:可拆卸式生长腔体
操控方式:触摸屏 / PC 上位机控制
数据功能:系统自动存储完整生长工艺数据
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