电弧电源:电弧发生器 / 吸气发生器 200A
籽晶旋转速度:0~10rpm
慢速提拉速度:0~39mm/h(伺服电机驱动)
快速提拉速度:175mm/min(固定档位)
有效行程:150mm
真空机组:分子泵 240L/s + 旋片泵 200L/min
加热原理:四路电弧同步加热熔融原料
控制方式:上位机电脑全程工艺控制
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