膜厚测量范围:100nm~10μm
可测样品尺寸:最大适配 6 英寸晶圆(约 150mm)
测量区域:局部测量约 3mm 方形;全面测定最大 150mm
空间分辨率:约 5μm
测定总点数:约 20 万点
检测耗时:局部测定约 30 秒;晶圆全幅测定约 10 分钟
整机结构:紧凑型桌面式箱体,便于实验室摆放部署
输出功能:膜厚二维分布成像、厚度数据采集与图谱输出
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