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日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置

产品名称: 日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置
产品型号:
产品特点: 日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置
TDS2100 是紧凑型非接触三维形状测量系统,搭载激光位移传感方案,支持共焦点式、三角测距式两种测量方式,可对透明、镜面材质进行无损轮廓扫描,搭配专用分析软件完成三维形貌采集与数据分析。

日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置 的详细介绍
日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置
日本 TECHNO MU TDS2100 三维轮廓测定装置

设备基础规格

  1. 细分机型:TDS2100AW、TDS2100BW(共焦点式);TDS2100CG、TDS2100DG(三角测距式)

  2. 测量方式:共焦点式 / 激光三角测距式可选

  3. 光源:半导体可视激光 650/670nm,Class I / Class IIIA

  4. 分辨率:至高 0.01μm,满足高精度微小形貌检测

  5. 光斑直径:φ2μm~φ30μm 多规格可选

  6. Z 轴测定范围:±0.3mm ~ ±5mm 多款行程可选

  7. 核心优势:支持透明体、镜面工件测量;非接触式检测不损伤样品

  8. 配套软件:Windows 平台操作,输出截面图、2D 云图、3D 形貌图,可计算截面积、体积

核心产品特性

TDS2100 系列台式三维形状测定装置主打小型化、高性价比高精度测量,整机占地紧凑,无需大型实验室空间即可部署。系统兼容市面主流激光位移传感器,硬件搭配灵活,支持根据被测工件尺寸定制平台行程。采用非接触激光扫描原理,全程不触碰样品表面,软性、精密、易划伤工件也可安全检测;独特光路设计能够稳定测量透明材质与镜面反光工件,大幅拓宽适用样品范围。设备数据采集速度快,扫描效率高,搭载丰富内置分析工具,在配套软件内即可完成轮廓高度、截面积、体积、平面度等多种参数运算。软件界面简洁直观,仅通过鼠标设置测量条件,即可自动完成扫描采集,生成二维截面曲线与三维形貌热力云图。系统提供四种标准机型,区分共焦点、三角测距两种检测原理,不同行程、光斑尺寸可供选型,也可依据客户样品形态定制整套测量方案。设备线性与重复精度表现优异,适合微米级微小部件形貌质控,广泛用于半导体、光学元件、精密加工、新材料研发领域。

适用生产场景

液晶基板、半导体晶圆表面轮廓检测;光纤端面形状测量;镜头球面形貌扫描;树脂、金属精密零件平面度检测;薄膜、涂层截面轮廓分析;高校新材料科研形貌测试。


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