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日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置

产品名称: 日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置
产品型号:
产品特点: 日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置
TFL3200 采用多激光同轴位移传感器方案,依靠一轴扫描方式实现非接触高速平面度检测,兼容金属、树脂、透明玻璃等材质,软件自动运算平面度数值并完成工件 OK/NG 判定,支持测量台面定制。

日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置 的详细介绍
日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置
日本 TECHNO MU TFL3200 平面度测定装置

设备基础规格

  1. 测量区域:标准 300×150mm,可根据工件尺寸定制行程

  2. 扫描方式:单轴扫描

  3. 适配传感器:三角测距式、多光束同轴激光位移计

  4. 最高分辨率:可达 0.003μm

  5. 检测原理:多点激光非接触采集高度数据,软件计算平面度

  6. 材质适配:金属研磨件、树脂、透明玻璃等各类工件

核心产品特性

TFL3200 非接触平面度测定装置面向工业精密质检场景打造,搭载多组激光同轴位移传感器,实现高速多点数据采集,有效提升批量工件检测效率。设备采用非接触式激光检测方式,不会划伤、挤压被测工件,适合薄膜、抛光面、脆性透明件等易损伤样品测量,对待测材质干扰极小。系统兼容多种激光位移传感器,可根据精度需求灵活选配;最高分辨率可达 0.003μm,兼顾高检测精度与合理采购成本。配套专业分析软件,预先录入判定阈值后,设备完成扫描即可自动输出平面度结果,智能区分合格(OK)与不良(NG)工件,便于产线品质管控。整机平台支持定制开发,可按照待测工件外形调整工作台尺寸、扫描行程,适配多种产品线。设备结构稳定,运行可靠,既可以用于实验室样品抽检,也能够对接产线实现连续化平面度检测,广泛应用于精密机械加工、光学元件、半导体基板、树脂零部件的平面度质量检测。

适用生产场景

精密金属加工件平面度检测;光学透明玻璃基板平面测量;树脂成型工件平面度质检;半导体基材平整度筛查;微小精密零部件批量品质检测。


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