日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

产品名称: 日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

产品型号:

产品特点: 日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列
该系列采用ESV-6或以下的环形加热器和ESV-8或以上的内部热式护套加热器，以从超高真空区域到高/中/真空区域获得稳定的压力。防止因机油碰撞而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排量大和临界背压高的特点。它还需要较少的液压油。

日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列 的详细介绍

日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

ESV系列的功能

该系列采用ESV-6或以下的环形加热器和ESV-8或以上的内部热式护套加热器，以从超高真空区域到高/中/真空区域获得稳定的压力。防止因机油碰撞而引起的压力波动。
ESV系列由于提高了加热油的热效率（与我们公司相比），因此具有运行时间短，排量大和临界背压高的特点。它还需要较少的液压油。

使用例

各种真空炉
各种实验的排气装置
管材制造设备
各种成膜设备
电子束焊接
电子显微镜

日本芝浦shibaura小型扩散油真空泵ESV系列

ESV系列阵容

模型		单元	ESV-3	ESV-4	ESV-6
抽速		升/秒	380	580	1,200
极限压力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作压力范围		帕	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜0.4
临界背压		帕	40	40	40
大排量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大号	0.12	0.18	0.3
垫片			维通	维通	维通
加热器	格式		云母带	云母带	云母带
	电压，相	ACV，相	200，1	200，1	200，1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
录取			VG80	VG100	VG150
辅助口			VG25	VG25	VG50
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	1.1	1.5	2
辅助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
挡板格式			3C（雪佛龙）	4C（雪佛龙）	6C（雪佛龙）
带挡板的抽速		升/秒	165	240	450
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	1.1	1.5	2
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圆筒		不锈	不锈	不锈
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	8.5	11	20

模型		单元	ESV-8	ESV-10	ESV-12
抽速		升/秒	2,000	3,000	4,500
极限压力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作压力范围		帕	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-6〜3.3 ×10 ^-1	10 ^-5〜0.4
临界背压		帕	46	40	37
大排量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	狮子A
油量		大号	0.6	1个	1个
垫片			维通	维通	氯丁橡胶
加热器	格式		种子	种子	种子
	电压，相	ACV，相	200，1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
录取			VG200	VG250	VG300
辅助口			VG50	VG50	VG80
冷却方式			水冷	水冷	水冷
冷却水量		L / min，在25℃时	2.5	五	6
辅助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZII x 2
挡板格式			8C（雪佛龙）	10C（雪佛龙）	12C（雪佛龙）
带挡板的抽速		升/秒	800	1,200	1,800
挡板冷却水量		L / min，在25℃时	2.5	五	6
机油倒流率		cm ³ / cm ²分钟	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圆筒		不锈	不锈	铁（镀镍）
材料	喷射		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
大众		公斤	二十五	45	55

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