超高真空环境用零油污染无振动真空泵

超高真空环境用零油污染无振动真空泵

超高真空环境用零油污染无振动真空泵

磁悬浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接触式螺杆/爪式压缩技术，摒弃润滑油，避免油蒸气反流污染真空腔体；
• 无振动运行：磁悬浮轴承消除机械接触与磨损，振动极低，适合对稳定性要的实验或测试环境；
• 超长寿命：连续运行寿命超10万小时，大幅降低维护频率；
• 适用场景：半导体制造、航天热真空试验、质谱分析等对洁净度和稳定性要求的超高真空系统。

该类泵支持从10⁻⁴ mbar 到大气压的宽范围运行，适配多种超高级需求。

2. 无油涡旋真空泵（复合分子泵系统）

• 设计：采用非接触式涡旋啮合结构，无需润滑油，避免油气返流；
• 低振动、低噪音：结构精密，运行平稳，适合实验室、洁净室等安静环境；
• 高真空能力：与涡轮分子泵组合使用，可实现10⁻⁷ Pa 级别的超高真空；
• 适用场景：质谱仪、精密光学镀膜、生物医药冻干等高洁净度要求的超高真空系统。

特别适合对分子级洁净有要求的应用，如半导体光刻、等离子体处理等。

磁悬浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接触式螺杆/爪式压缩技术，摒弃润滑油，避免油蒸气反流污染真空腔体；
• 无振动运行：磁悬浮轴承消除机械接触与磨损，振动极低，适合对稳定性要求的实验或测试环境；
• 超长寿命：连续运行寿命超10万小时，大幅降低维护频率；
• 适用场景：半导体制造、航天热真空试验、质谱分析等对洁净度和稳定性要求的超高真空系统。

该类泵支持从10⁻⁴ mbar 到大气压的宽范围运行，适配多种超高真级需求

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2. 无油涡旋真空泵（复合分子泵系统）

• 设计：采用非接触式涡旋啮合结构，无需润滑油，避免油气返流；
• 低振动、低噪音：结构精密，运行平稳，适合实验室、洁净室等安静环境；
• 高真空能力：与涡轮分子泵组合使用，可实现10⁻⁷ Pa 级别的超高真空；
• 适用场景：质谱仪、精密光学镀膜、生物医药冻干等高洁净度要求的超高真空系统。

特别适合对分子级洁净有要求的应用，如半导体光刻、等离子体处理等。