超高真空环境应用无油清洁离子真空泵

超高真空环境应用无油清洁离子真空泵

超高真空环境应用无油清洁离子真空泵

Canon anelva 912-7125 是一款离子泵，标称抽速 20 L/s（对氮气），工作范围约 1×10⁻¹ Pa 到 1×10⁻⁹ Pa，启动压力需低于 1.3 Pa。泵体入口为 φ70 ICF，内部容积 1.4 L，重量约 10.5 kg，标称可烘烤温度 250 ℃。该泵不使用油，依靠冷阴极放电和钛溅射吸气，运行时不产生振动，适用于表面分析、电镜等需要清洁真空的环境

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