腐蚀性气体粉尘工况设计螺杆式干真空泵

腐蚀性气体粉尘工况设计螺杆式干真空泵

腐蚀性气体粉尘工况设计螺杆式干真空泵

1. 耐腐蚀构造
   转子轴与缸体内壁采用特殊涂层（氟系或陶瓷复合层），可长期耐受 NMP、HF 等腐蚀性溶剂及锂盐副产物，寿命测试 >20 000 h。
2. 高排粉能力
   螺杆型线经过 ULVAC 优化，转子间保持微小间隙但无接触，可将干燥段脱落的活性材料粉末连续排出，避免泵内堆积卡死；实测粉尘浓度 5 g/m³ 仍可稳定运行。
3. 宽压区连续工作
   从大气压到极限压力 1 Pa 均可连续运转，无需切换旁路；排气温度 ≤80 ℃，减少 NMP 蒸气在泵内冷凝，降低腐蚀与油泥风险。
4. 干式无油
   工作腔无需润滑油，可获得洁净真空，避免电解液被油污染，同时省去废油处理成本，符合锂电池车间的洁净等级要求 。
5. 典型机型与参数
• MS120A：抽速 120 m³/h，功率 2.4 kW，入口 NW40
• MS600A：抽速 600 m³/h，功率 7.5 kW，入口 NW50
• MS1200A：抽速 1200 m³/h，功率 15 kW，入口 NW63
  全系空冷，可落地或机架安装，重量 65–180 kg。
6. 锂电池应用位置
• 电极干燥线：与烘箱组合，快速抽走 NMP 蒸气并保持 10–100 Pa 真空度，缩短干燥时间 15–20 %；
• 真空注液腔：为注液机提供 50 Pa 级洁净真空，帮助电解液快速渗透极片微孔，减少气泡残留；
• 脱气塔/静置舱：连续抽出逸出的 CO、HF 等副产气体，维持微负压 1–10 kPa，保障车间安全。
7. 维护与寿命
   涂层螺杆平均大修间隔 ≥3 年，日常仅需更换齿轮箱润滑脂（每 6 000 h）；泵腔可 120 ℃ 热水/酒精冲洗，快速切换批次。

1. 耐腐蚀构造
   转子轴与缸体内壁采用特殊涂层（氟系或陶瓷复合层），可长期耐受 NMP、HF 等腐蚀性溶剂及锂盐副产物，方寿命测试 >20 000 h

   。
2. 高排粉能力
   螺杆型线经过 ULVAC 家优化，转子间保持微小间隙但无接触，可将干燥段脱落的活性材料粉末连续排出，避免泵内堆积卡死；实测粉尘浓度 5 g/m³ 仍可稳定运行

   。
3. 宽压区连续工作
   从大气压到极限压力 1 Pa 均可连续运转，无需切换旁路；排气温度 ≤80 ℃，减少 NMP 蒸气在泵内冷凝，降低腐蚀与油泥风险

   。
4. 干式无油
   工作腔无需润滑油，可获得洁净真空，避免电解液被油污染，同时省去废油处理成本，符合锂电池车间的洁净等级要求 。
5. 典型机型与参数
• MS120A：抽速 120 m³/h，功率 2.4 kW，入口 NW40
• MS600A：抽速 600 m³/h，功率 7.5 kW，入口 NW50
• MS1200A：抽速 1200 m³/h，功率 15 kW，入口 NW63
  全系空冷，可落地或机架安装，重量 65–180 kg

  。
6. 锂电池应用位置
• 电极干燥线：与烘箱组合，快速抽走 NMP 蒸气并保持 10–100 Pa 真空度，缩短干燥时间 15–20 %

  ；
• 真空注液腔：为注液机提供 50 Pa 级洁净真空，帮助电解液快速渗透极片微孔，减少气泡残留；
• 脱气塔/静置舱：连续抽出逸出的 CO、HF 等副产气体，维持微负压 1–10 kPa，保障车间安全

  。
7. 维护与寿命
   涂层螺杆平均大修间隔 ≥3 年，日常仅需更换齿轮箱润滑脂（每 6 000 h）；泵腔可 120 ℃ 热水/酒精冲洗，快速切换批次

   。