空冷式六段根式工艺生产用油旋转真空泵

空冷式六段根式工艺生产用油旋转真空泵

空冷式六段根式工艺生产用油旋转真空泵

FT6-36P · LED 生产工艺专用

六段 Root + 油旋片复合 · 空冷 · 无冷却水
250 m³/h · 极限 6.7×10⁻² Pa · 重量 230 kg · 可并排

一、产品定位

• LED 生产工艺：
• MOCVD 前级（GaN 外延）
• 溅射 & 离子镀
• 高亮度芯片干刻
• 空冷六段根式：无冷却水，并排安装，产线无需水改
• 六段 Root + 油旋片：复合抽气，高抽速 + 低极限，适合大腔体快速抽真空

二、核心技术参数（FT6-36P）

三、功能亮点

1. 六段 Root 高抽速：250 m³/h，比同级双段泵高 50 %，MOCVD 腔体 3 min 抽到 10 Pa
2. 空冷无水管：并排安装，产线无需冷却水改造
3. 6.7×10⁻² Pa 极限：满足 MOCVD、溅射、离子镀工艺背压要求
4. 硬阳极 Root 转子：耐 GaN 粉尘、耐金属飞溅，寿命 30,000 h
5. 强制油循环：高负荷连续运行，油温 <70 ℃
6. 65 dB 静音：比水冷泵低 10 dB，洁净室旁运行不扰人

四、典型应用系统

MOCVD 反应室 300 mm┌─ 反应室 ─┐│           │进口← FT6-36P ← 粉尘过滤器（可选）│           │└─ 回大气 ──┘

• 泵进口接反应室，3 min 抽到 10 Pa，满足 GaN 外延工艺
• 粉尘过滤器捕集 GaN 微粒，延长泵寿命

五、实测数据（MOCVD 验证）

• 反应室 300 mm，室温 25 ℃
• FT6-36P 50 Hz 运行：
• 1 min 达到 100 Pa
• 3 min 达到 10 Pa
• 极限 6.7×10⁻² Pa
• 连续 24 h 油温 <65 ℃，无冷却水

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 油更换：每 3,000 h 或 1 年
• Root 转子：硬阳极氧化，寿命 30,000 h，免维护
• 粉尘过滤器：每月清理一次
• 整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论