美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪

Name: 美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪He-Ne 双频
Brand: 其他品牌
Price: 1666 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪

产品型号: He-Ne 双频

产品特点: 美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪
采用塞曼效应稳频双频 He-Ne 激光，最小分辨率 0.3nm，适配半导体设备与超精密机床，是高精度位移测量的核心设备。

美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪 的详细介绍

美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪

美国 EXCEL PRECISION 1001 激光头干涉仪，依托美国 EXCEL PRECISION 的双频 He-Ne 激光技术，是专为半导体设备、超精密机床开发的高精度激光干涉仪测量系统，凭借塞曼效应稳频原理，实现了 0.3 纳米级的位移测量分辨率，成为晶圆步进曝光机、精密测量仪、超精密工作机等设备的核心定位组件。

设备采用两倍频率的氦氖激光系统，通过对激光管施加纵向磁场，利用塞曼效应使氖原子能级分裂为两个等间隔频率，频率差与磁场强度成比例偏移，从而实现高频率稳定性与测量再现性。高分频频率设计让测量速度可达 1.0m/sec（取决于分辨率），满足高速运动平台的实时位移反馈需求。系统支持最多 6 轴同步测量，可搭配 6 个干涉仪与 6 个探测器，实现多轴联动设备的同步校正与定位。

1100B 六要素校正系统可一次性检测并数据化最大 5 个要素的桌面间隙，广泛应用于机床的精度管理，帮助用户快速识别设备误差、优化运动精度。设备整体采用紧凑化设计，激光头本体尺寸仅 355×132×116mm，可轻松集成到各类精密设备中；光学产品相互兼容，支持与干涉仪及相关检测、光学硬件的配套使用，适配晶圆 / FPD 步进曝光机、电子束设备、IC 检查产品、后端步进曝光机等多种场景。

该系统已在全球拥有超过 5000 台的应用实绩，是半导体制造、超精密加工领域的测量设备，同时支持根据用户需求定制非标系统，为不同行业的高精度位移测量与设备校正提供可靠解决方案。

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