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美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器
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产品名称:
美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器
产品型号:
Exicor® HD 系列
产品特点:
美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器,是专为重型大尺寸样品打造的高精度双折射检测设备。基于核心的低级别双折射测量技术与 PEM 光弹性调制器,实现亚纳米级测量精度,全钢底座结构支持最高 5.4 吨、2 米见方的超大样品,广泛应用于半导体晶圆、光掩膜、大型光学元件的双折射与应力检测。
美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器
的详细介绍
美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器
美国 Exicor HD 系列双折射测量光学仪器
核心技术与性能优势
Exicor® HD 系列基于 Hinds Instruments 的 PEM(光弹性调制器)双折射测量技术,突破传统设备的测量局限,实现 0.005 nm 级的超高精度双折射检测。全钢底座的重型设计,解决大尺寸、大重量样品的测量稳定性问题,确保从 400mm 到 2000mm 全规格样品的测量精准性。
半导体行业专属应用
设备专为半导体行业打造,适配半导体晶圆、光掩膜的双折射与应力检测,自动化扫描软件可快速完成常规评估,为半导体制造工艺优化提供精准数据支撑。同时支持定制化波长、高分辨探头,满足不同工艺环节的检测需求。
全场景检测能力
除半导体行业外,设备还广泛应用于光学元件、玻璃、聚合物等材料的双折射与应力分布检测,覆盖从科研实验室到量产生产线的全场景需求。灵活的加载方式与多规格型号,可根据客户样品尺寸、重量定制化选型。
操作与维护
设备搭载直观的自动化扫描软件,操作简单,无需专业培训即可上手;全钢结构耐用性强,维护成本低,仅需定期校准即可保持长期稳定的测量性能,适配工业化连续检测需求。
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