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EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器

产品名称: EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器
产品型号:
产品特点: EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器
全 PFA/PTFE 过液结构，直接放置半导体药液槽内浸没恒温加热。

EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器 的详细介绍
EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器
EKUSA EDH 型 PFA 浸没式药液加热器
本设备为 EKUSA 原装 EDH 系列槽内浸没式氟树脂加热器，专为半导体药液处理槽内置加热设计，所有接触药液部位全部采用高纯 PFA、PTFE 材质，无金属析出污染，适配高纯度酸碱药液、超纯水加热工况。可按照药液槽实际尺寸定制外形规格，标准功率覆盖 1kW~5kW，也可按需定制非标功率机型。

整机适配 AC200V 单相 / 三相供电，标准最高耐液温 80℃，可定制高温规格；标配 1 米出线线缆，可选配内置 K 型液温传感器与专用温控器，整体结构适配电镀、半导体清洗槽、实验室反应槽浸没安装，耐各类强腐蚀化学品，长期使用不会劣化药液。


核心性能与优势

  • 全部过液部件采用 PFA+PTFE，高纯无金属溶出，保护半导体制程药液纯度

  • 槽内浸没式安装，可根据清洗槽外形定制长宽尺寸

  • 标准功率 1~5kW 全覆盖，非标容量、尺寸均可定制

  • 耐强酸碱腐蚀，适配超纯水、蚀刻液、电镀药液加热

  • 可选内置 K 型温度传感器，搭配专用控制器实现精准恒温

  • 出线长度可按需延长，单相 / 三相供电规格齐全


典型应用场景

  • 半导体晶圆清洗槽、药液处理槽浸没恒温加热

  • 光伏电子行业超纯水、高纯腐蚀药液加温

  • 电镀生产线各类电镀槽、水洗槽加温设备

  • 化工、实验室高纯化学品反应槽加热工序


核心规格一览
表格
项目规格说明
型号EDH-10(1kW)/EDH-20(2kW)/EDH-30(3kW)/EDH-40(4kW)/EDH-50(5kW)
加热功率标准 1~5kW，AC200V 单相 / 三相可选，支持非标定制
接触药液材质PFA、PTFE；固定支架 SUS304 不锈钢
标准耐温最高 80℃水溶液，高温款按需定制
标准尺寸 L241mm，高度统一 45mm，宽度随功率递增 75~315mm
标配线缆1 米长引出线，支持加长定制
可选配件K 型内置液温传感器、配套专用温控器、高温定制款
适配工况半导体高纯药液、超纯水、电镀液、各类腐蚀化学品槽内加热


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