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EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器

产品名称: EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器
产品型号:
产品特点: EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器
全 PFA 过液结构，适配半导体清洗管线 inline 药液恒温加热。

EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器 的详细介绍
EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器
EKUSA ECN 型氟树脂半导体药液加热器
本设备为 EKUSA 原装 ECN 系列氟树脂药液加热器，专为半导体药液清洗生产线在线加热设计，整机过液部位全部采用高纯 PFA 材质，低析出构造不会腐蚀、劣化酸碱药液，适配各类高纯度腐蚀药液恒温加热工序。

设备集成多重安全传感组件，内置加热器过热温度传感器、漏液传感器，突发断电停机时药液温升仅约 10℃，无惧流体波动与冲击，长期连续运行稳定可靠；整机紧凑立式结构，预留标准安装底座，可直接对接产线原有电控系统，现场安装调试便捷。


核心性能与优势

  • 全 PFA 过液腔体，高纯低析出，不污染半导体制程药液

  • 耐强酸碱腐蚀，适配各类蚀刻、清洗药液加热工况

  • 多重安全防护：过热报警、漏液监测、干烧防护传感器内置

  • 耐受 0.4MPa 常规压力，标准耐温 80℃，特殊规格最高 150℃

  • 多功率规格可选，匹配不同药液流量，小型机身节省产线空间

  • 兼容原有电控系统，支持搭配专用控制器实现精准控温


典型应用场景

  • 半导体晶圆清洗设备 inline 药液恒温加热

  • 光伏、电子行业高纯度酸碱药液循环加温

  • 精密化工、制药高纯腐蚀性流体加热工序


核心规格一览
表格
项目规格说明
型号ECN-30P/45P/60P/90P/120P/240P
加热功率3/4.5/6/9/12/24KW（AC200V 单相 / 三相）
过液材质接触药液部位：PFA；其余：SUS304、PTFE；外壳 PVC/SUS304 可选
标准工况压力≤0.4MPa，药液温度≤80℃；特殊高温款最高 150℃
管路接口PFA 软管接口 3/8"、1/2"、3/4"、1"
标配传感器加热器过热测温、漏液检测、水温过热保护（K 型 / Pt100）
可选配件专用温控器、干烧传感器、流量传感器、定制电压电源
适配流量3~24L/min（对应各功率机型最小循环流量）


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