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SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器

产品名称: SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器
产品型号:
产品特点: SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器
整机集成 PID 温控柜,全 PFA 过液无杂质析出,适配超纯水、臭氧水恒温加热,多重安全传感保护。

SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器 的详细介绍
SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器
SERA EHS 电力式 PFA 超纯水加热器
本品为 SERA 大容量一体式超纯水加热机组,整机集成电控柜体与 PFA 加热芯,全部接触纯水管路采用 PFA 氟树脂,无金属离子、颗粒析出,满足半导体高纯度超纯水加热需求,可兼容臭氧水、功能水循环加温。

采用低温发热设计,加热芯使用寿命超 10 年免维护;耐受流量骤变启停,承压最高 0.4MPa,氟树脂耐冲击不易破裂。搭载 PID 精准温控,恒温精度 ±1℃,内置水温超温、干烧、漏液、空烧多重报警传感器,配备急停按钮,三相 200V 工业供电,功率覆盖 25kW~100kW。


核心性能与优势
  1. 全 PFA 接液结构,高纯无析出,适配半导体超纯水工艺;

  2. 可加热臭氧水、功能水,耐腐蚀不被氧化腐蚀;

  3. 低温发热长效设计,加热体寿命超 10 年,维护量极低;

  4. 抗流量波动,水流骤变、停机无过热故障风险;

  5. 最高承压 0.4MPa,氟树脂耐冲击,运输安装不易破损;

  6. 一体化电控柜,PID 精准控温,多重故障报警安全联锁。


典型应用场景
  • 半导体晶圆清洗制程超纯水恒温加热

  • 电子厂、光伏高纯度纯水、臭氧清洗水循环控温

  • 锂电、精密电子制造大容量纯水加温系统


核心规格一览
表格
项目参数说明
系列型号EHS-250/500/750/1000
加热功率25kW/50kW/75kW/100kW
最高水温95℃
控温方式PID 恒温控制,精度 ±1℃
额定承压0.4MPa
接液材质PFA 氟树脂,外壳 SUS304
管路接口PFA 软管接头
安全传感水温超温、干烧、漏液、空烧检测
供电规格三相 AC200V
整机尺寸400/550/750/950×600×1775mm


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