采用低温发热设计,加热芯使用寿命超 10 年免维护;耐受流量骤变启停,承压最高 0.4MPa,氟树脂耐冲击不易破裂。搭载 PID 精准温控,恒温精度 ±1℃,内置水温超温、干烧、漏液、空烧多重报警传感器,配备急停按钮,三相 200V 工业供电,功率覆盖 25kW~100kW。
全 PFA 接液结构,高纯无析出,适配半导体超纯水工艺;
可加热臭氧水、功能水,耐腐蚀不被氧化腐蚀;
低温发热长效设计,加热体寿命超 10 年,维护量极低;
抗流量波动,水流骤变、停机无过热故障风险;
最高承压 0.4MPa,氟树脂耐冲击,运输安装不易破损;
一体化电控柜,PID 精准控温,多重故障报警安全联锁。
半导体晶圆清洗制程超纯水恒温加热
电子厂、光伏高纯度纯水、臭氧清洗水循环控温
锂电、精密电子制造大容量纯水加温系统
| 项目 | 参数说明 |
|---|---|
| 系列型号 | EHS-250/500/750/1000 |
| 加热功率 | 25kW/50kW/75kW/100kW |
| 最高水温 | 95℃ |
| 控温方式 | PID 恒温控制,精度 ±1℃ |
| 额定承压 | 0.4MPa |
| 接液材质 | PFA 氟树脂,外壳 SUS304 |
| 管路接口 | PFA 软管接头 |
| 安全传感 | 水温超温、干烧、漏液、空烧检测 |
| 供电规格 | 三相 AC200V |
| 整机尺寸 | 400/550/750/950×600×1775mm |
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