机型区分:TFS2100AW(搭载共焦点传感器);TFS2100(传感器选配)
测量方式:共焦点式
作动距离:6mm
Z 轴测定范围:±0.3mm
光斑直径:φ2μm
分辨率:0.01μm
光源:670nm 可见光半导体激光 CLASS I
适用样品:金属、橡胶、薄膜、树脂、透明体、镜面工件
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