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日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机

产品名称: 日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机
产品型号:
产品特点: 日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机
JUSTEM STM‑10 静电电容式手动晶圆厚度测定机,适配 6‑12 英寸硅晶圆,测量区间 500‑1000μm,采用电容传感器实现非接触检测,避免工件划伤损坏,检测数据保存至电脑 Excel,设备可在普通室内环境使用。

日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机 的详细介绍
日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机

日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机


设备基础规格
‑被测工件:Si 硅晶圆
‑工作尺寸:φ6~12 英寸
‑薄片厚度:500~1000μm
‑设备形式:桌上式
‑设置环境:一般室
‑装置尺寸:W264×D630×H270 (mm)
‑装置重量:20 公斤
‑电源:单相 100V 50/60Hz
‑真空:真空泵为附件
‑测量传感器:电容传感器
‑测量精度:重复 10 次标准偏差 0.2μm 以下

‑测量点:中心 1 点


该设备属于桌上型手动晶圆厚度检测设备,专为大尺寸硅晶圆打造,依靠静电电容传感器完成非接触式厚度检测,检测过程传感器不接触晶圆表面,能够有效规避工件表面划伤、磕碰损坏的问题,对于已经完成包装工序的硅片同样友好。整机操作方式简单,人工完成晶圆上料定位后,设备针对晶圆中心点执行厚度采集,重复十次测量标准偏差控制在 0.2μm 以内,检测结果稳定可靠。检测获取的全部测量数据可直接存储至电脑端 Excel 文档,数据可视化展示,便于工作人员做记录、归档与对比分析,简化数据管理流程。设备无需千级洁净环境,普通室内条件即可开展作业,降低现场使用的环境门槛,整机体积小巧重量较轻,便于实验室、质检工位安放布置,真空泵作为配套附件按需配置,适配不同现场气源条件。


主要应用于电子元件半导体行业,针对 6‑12 英寸硅晶圆包装工序开展中心点厚度检测,适合实验室验证、来料复检、成品质量抽检等作业场景。


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