日本 JUSTEM STM‑10 晶圆厚度测定机
‑测量点:中心 1 点
该设备属于桌上型手动晶圆厚度检测设备,专为大尺寸硅晶圆打造,依靠静电电容传感器完成非接触式厚度检测,检测过程传感器不接触晶圆表面,能够有效规避工件表面划伤、磕碰损坏的问题,对于已经完成包装工序的硅片同样友好。整机操作方式简单,人工完成晶圆上料定位后,设备针对晶圆中心点执行厚度采集,重复十次测量标准偏差控制在 0.2μm 以内,检测结果稳定可靠。检测获取的全部测量数据可直接存储至电脑端 Excel 文档,数据可视化展示,便于工作人员做记录、归档与对比分析,简化数据管理流程。设备无需千级洁净环境,普通室内条件即可开展作业,降低现场使用的环境门槛,整机体积小巧重量较轻,便于实验室、质检工位安放布置,真空泵作为配套附件按需配置,适配不同现场气源条件。
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