半导体特药液高清洁真空氟龙加热器

半导体特药液高清洁真空氟龙加热器

半导体特药液高清洁真空氟龙加热器

特药液 · 氟龙加热 · 半导体级 · 真空/大气双模式
0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa · 重量 1.9 kg · 5 年寿命

一、产品定位

• 半导体领域特药液：HF、H₂SO₄、H₃PO₄、NH₄OH、有机溶剂
• 氟龙加热器：PTFE + PFA，无颗粒，Class 100 兼容
• 真空/大气双模式：真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 °C
• TFH-1305：0-180 °C，±0.1 °C，真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，5 年寿命

二、核心技术参数（TFH-1305）

三、功能亮点

1. 0-180 °C 全温度：氟龙加热，全温度精度 ±0.1 °C
2. ±0.1 °C 超高精度：PID 闭环，±0.1 °C 超高精度
3. ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
4. PTFE + PFA 高清洁：无颗粒，Class 100 高清洁
5. 1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
6. 5 年寿命：氟龙无磨损，5 年免维护

四、典型应用系统

半导体特药液加热┌─ 真空腔体 ─┐│               │加热← TFH-1305 ← 真空馈通 NW16│               │└─ 回大气 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 °C 精度
• RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（半导体验证）

• 真空：1×10⁻⁴ Pa，25 ℃
• TFH-1305：
• 温度 180 °C（±0.1 °C）
• 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa（全范围）
• 寿命 5 年（连续运行）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 氟龙：5 年寿命，免维护
• PT100：年漂移 < 0.1 %，无需校准

一、产品定位

• 半导体领域特药液：HF、H₂SO₄、H₃PO₄、NH₄OH、有机溶剂
• 氟龙加热器：PTFE + PFA，无颗粒，Class 100 兼容
• 真空/大气双模式：真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 °C
• TFH-1305：0-180 °C，±0.1 °C，真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，5 年寿命

二、核心技术参数（TFH-1305）

三、功能亮点

1. 0-180 °C 全温度：氟龙加热，全温度精度 ±0.1 °C
2. ±0.1 °C 超高精度：PID 闭环，±0.1 °C 超高精度
3. ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
4. PTFE + PFA 高清洁：无颗粒，Class 100 高清洁
5. 1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
6. 5 年寿命：氟龙无磨损，5 年免维护

四、典型应用系统

半导体特药液加热┌─ 真空腔体 ─┐│               │加热← TFH-1305 ← 真空馈通 NW16│               │└─ 回大气 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 °C 精度
• RS-485 实时输出，PLC 闭环控制

五、实测数据（半导体验证）

• 真空：1×10⁻⁴ Pa，25 ℃
• TFH-1305：
• 温度 180 °C（±0.1 °C）
• 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa（全范围）
• 寿命 5 年（连续运行）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 氟龙：5 年寿命，免维护
• PT100：年漂移 < 0.1 %，无需校准