二流体喷嘴在全自动去胶剥离机是怎么应用的

二流体喷嘴在全自动去胶剥离机中发挥重要作用，主要用于去胶单元，采用高压柱状或扇状喷嘴对晶圆表面的金属和光刻胶进行去除。这种喷嘴通过高速空气将液体击碎，使液体粒径变小，提高液体喷射效率，从而实现去除光刻胶的目的。此外，二流体喷嘴在晶圆清洗中的应用，利用压缩空气与清洗液混合，通过特殊设计的喷头，以高速喷射出微米级的精细雾滴。这种的二流体喷射方式，能够在晶圆表面产生高效的物理冲击与化学作用，从而去除光刻胶。设备可搭载槽式浸泡单元、高压喷淋或二流体喷淋去胶单元、清洗及干燥单元等工艺模块，满足各种品牌型号、各种厚度的正负性光阻去除及金属剥离等工艺。