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用于对气体压力控制有严格要求的半导体制造领域-——日酸调节器
日本日酸TANAKA公司生产的半导体气体用压力调节器TORR-50-3S-5010-6SH是一种专为半导体制造环境设计的高精度气体压力控制设备。这款产品具备以下特点：
- 高精度调控：该压力调节器专为半导体制造的恶劣环境而设计，不仅具有高精度、稳定性和快速响应，还必须耐腐蚀性化学物质、适应紧凑空间并在复杂的电磁环境中保持可靠的性能。
- 耐腐蚀性化学物质：在半导体制造过程中，经常需要使用各种化学气体，因此该设备能够耐腐蚀性化学物质，确保长期稳定运行。
- 适应紧凑空间：半导体制造设备通常体积较小，空间有限，该压力调节器设计紧凑，能够适应这种环境。
- 复杂电磁环境中的可靠性：半导体制造环境中电磁干扰较为复杂，该设备能够在这种环境中保持稳定的性能。
- 广泛测量范围：该设备支持从极真空到高压的广泛测量范围，确保工艺参数的一致性和产品质量。
- 高纯度要求：半导体制造对气体的纯度要求，该压力调节器能够满足这种高纯度要求，保证气体的纯净度。
- 维护简便：设计考虑到了维护的便利性，使得定期检查和维护更加容易，减少了停机时间。
- 安全性：具备安全保护功能，如过压保护、泄漏检测等，确保操作人员和设备的安全。
综上所述，日本日酸TANAKA的TORR-50-3S-5010-6SH压力调节器是一款高性能、高可靠性的半导体气体用压力控制设备，适用于对气体压力控制有严格要求的半导体制造领域。
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