在半导体制造、精细化工和材料科研的前沿领域,哪怕是晶圆或基材表面一丝一毫的微量金属污染,都可能成为产品良率的 “隐形杀手"。人工采样易带入二次污染,传统设备又难以适配亲水面、粗糙表面等复杂工况 —— 而日本 NAS 技研推出的 SC 系列微量金属污染物采样设备,正是为破解这些痛点而生的专业解决方案。
作为有限会社 NAS 技研深耕行业多年的经典机型,SC 系列(涵盖 SC-3100/8150/9100/9200)从设计之初就锚定 “精准、低污染、高适配" 三大核心目标。设备全程由电脑控制,可灵活切换圆环形、扇形、端面、弧形等 7 种采样模式,无论是晶圆正面的均匀区域,还是边缘、端面的特殊位置,都能实现精准覆盖,不漏过任何一处潜在污染。
针对不同场景的需求,SC 系列提供了自动与手动两种操作逻辑:SC-3100、SC-9100、SC-9200 主打全自动流程,从支架具装卸到采样液的供给与回收,全环节无需人工干预,减少人为操作带来的污染,特别适合工业化批量采样;SC-8150 则以手动操作为特色,结构更精简,适合实验室小批量、个性化的采样实验,让研发人员能灵活调整参数,适配新材料的探索性测试。
在易用性与稳定性上,这款设备同样表现亮眼:它无需复杂的真空系统,仅需放置在无尘通风柜内,搭配 100~240VAC 宽电压供电,就能快速投入使用;电脑端可实时记录、存储采样数据,为后续的污染物分析、品质追溯提供完整依据;不同型号的机身尺寸紧凑,重量控制在 35-55kg 之间,无论是实验室桌面还是洁净车间,都能灵活部署,不会占用过多空间。
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