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实验室表面处理利器!SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗机,高效温和不损伤样品

在半导体、材料研发、精密制造等实验室场景中,样品表面的有机污染物、残留杂质,一直是影响实验精度、产品良率的关键问题。传统清洗方式不仅流程繁琐,还容易损伤敏感基材,今天给大家推荐一款专业的表面处理设备 —— 日本 SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗机,用紫外光 + 臭氧 + 台面加热的三重作用,温和高效去除有机污染物,适配多种基材,是实验室表面处理的理想选择。

一、核心原理:三重作用,温和高效

UV-1 采用独特的紫外光照射 + 臭氧生成 + 台面加热的协同作用原理:氧气经滤尘后生成臭氧,在紫外灯照射下分解为高活性氧自由基,与样品表面的有机物发生氧化反应,将其分解为二氧化碳和水等挥发性物质,从而实现清洗;加热台面可加速清洗速率,同时满足不同工艺的温度需求。整个过程在大气压下完成,无需真空系统,操作便捷,且不会产生静电损伤,可保护 GaN、SiC 等敏感化合物半导体基材。

二、产品特色:实验室友好型设计,安全省心

  1. 宽适配性,多基材兼容:可处理 φ100mm 基板及 4 英寸晶片,覆盖硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等多种基材,满足不同实验场景需求。

  2. 紧凑设计,节省空间:设备结构精巧,占用实验室空间小,适合各类实验室布局。

  3. 常压操作,无需真空:在大气压下即可运行,无需搭配复杂的真空系统,降低使用门槛和维护成本。

  4. 温和工艺,无损伤处理:全程无静电、无机械损伤,不会破坏样品结构,尤其适合敏感电子材料。

  5. 多重安全防护:配备上盖连锁机制(上盖开启时系统无法操作)、自动 N₂ purge 循环、加热台面保险丝保护、臭氧分解装置、紧急停止按钮等多重安全设计,保障操作人员安全,同时将排气臭氧浓度降至安全标准。

  6. 臭氧无害化处理:内置臭氧分解装置,避免臭氧排放污染,符合实验室环保要求。

三、应用场景:覆盖多领域实验室需求

  • 塑封封装及引线框架表面清洗

  • 化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)表面清洗

  • 表面改质(亲水性及增进附着力)

  • 表面氧化(氧化薄层的形成)

  • 光阻的灰化、去除、残留清洗

  • 去除有机污染物

  • UV 硬化

SAMCO 作为日本的半导体工艺设备品牌,拥有多年的设备研发经验,产品以稳定的性能、精巧的设计,广泛应用于各类科研实验室、半导体研发机构。UV-1 紫外臭氧清洗机,从清洗效率到操作安全性,都做到了行业较高水平,是实验室表面处理、样品前处理的高效利器。
如果你正在找一款温和高效、适配多基材、安全省心的表面清洗设备,不妨试试 SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗机,让样品前处理更高效、更精准!

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