节能小型高耐用！Kashiyama SD 系列干式真空泵

在半导体、热处理等工业制程中，稳定高效的真空排气是工艺稳定的核心保障。日本樫山工业（Kashiyama）推出的 SD 系列干式真空泵，以高耐用性、小型化、低功耗的优势，成为工业真空场景的优选设备。

系列延续了品牌经典的制程耐性并持续优化，采用竖型螺杆结构与全新加热系统，搭配特殊耐腐蚀材料，大幅强化设备耐用性，丰富的温度区间可适配各类严苛制程。设备实现了小型化，20000L/min 级机型占地面积较前代缩减 35%，同时进一步降低电力消耗，兼顾性能与节能。

全系列覆盖多档排气规格，排气速度从 10000L/min 到 100000L/min 可选，到达压力低至 0.3Pa，满足从实验室到量产线的全场景真空需求。设备符合 SEMI、CE、NRTL 等国际安全规格，设计高可靠，搭载脚轮便于移动部署，适配各类工业现场。

设备采用三相 AC200~220V 供电，支持氮气吹扫，冷却水量需求低，功耗控制优异，SDX 节能款适配热处理制程，SDT/SDH 高耐用款适配严苛制程，可根据工艺需求灵活选型。全系列排气性能稳定，宽压力区间保持高效抽速，广泛应用于半导体制造、真空热处理、材料研发等领域，是工业真空系统的核心配套设备。