0.1μm 高精度 AF 自动对焦！光切断法深度高度测量仪

日商精密光学 AF-Micron 系列深度高度测量仪，是融合光切断 slit 成像与 spot 光成像技术的新型高精度测量设备，搭载自动对焦（AF）跟踪功能，为精密零部件的高度、深度、台阶检测提供高效、精准的非接触式测量解决方案。

设备采用 10μm 半反射镜标准投射狭缝（可选 30μm、80μm），搭配半导体激光器与卤素光源，Z 轴读数精度达 0.1μm，重复精度 ±1μm 以内，可精准捕捉微小台阶与表面形貌变化。连续追踪 AF 驱动可实现重复高精度测量，操作简便快速，支持自动 / 手动双模式，自动模式下可在 XY 轴移动平台上快速完成批量检测，手动模式可作为微米级深度高度测量仪使用。

通过实时观察狭缝成像，可直观识别测量画面的高低差，轻松定位测量部位；系统通过狭缝像、斑点光像、电子基准线三重中心对齐校验，有效避免错误数值输出。光切断仰角除标准 90° 外，还可根据用途选择 30°、60°、120°，适配复杂工件的多角度测量需求。

设备标配 10 倍物镜（可选 5 倍、20 倍），13 英寸彩色液晶显示器实时成像，支持规格定制，广泛应用于机械加工部件、模具、薄膜、基板等的表面粗糙度、高度位置、冲压件检测等精密加工领域，是精密制造质量管控的核心测量设备。