TANAKA TORR‑LAR 高纯度气体微压调节器介绍

 产品详细参数

 应用领域

1. 半导体 / 电子：晶圆制程、外延、扩散、CVD 高纯工艺气稳压

2. 分析实验室：GC、LC‑MS、光谱仪、载气 / 燃烧气精密调压

3. 光伏 / 显示：FPD、LED、太阳能电池制程气路控制

4. 特种气体：高纯惰性气体、可燃 / 氧化性气体安全调压

5. 科研装置：量子、纳米、薄膜、真空系统气路稳压

6. 生物医药：无菌气、雾化气、反应气高精度压力控制

 产品详细内容

日酸 TANAKA TORR‑LAR 压力调节器是日本日酸针对超高纯度气体与微压精密控制开发的调压设备，作为半导体级气路的经典机型，以超高洁净度、超高稳定性、超低泄漏率成为制造与科研领域的产品。设备全程在 0.3μm Class1000 洁净室内组装，出厂前通过氦检漏测试，从源头杜绝污染与泄漏风险，满足半导体、电子、新材料等行业对气路洁净度的严苛要求。

该调节器采用全 SUS316L 接气结构，隔膜与阀体均为高耐腐蚀不锈钢，可长期稳定输送高纯惰性气体、氢气、氧气等工艺气体，无析出、无污染、无金属污染。支持电解研磨表面处理，表面粗糙度 Ra≤0.25μm，大幅降低气体滞留与杂质吸附，特别适合对纯度与洁净度敏感的先进制程。入口最高承压 1.5MPa，出口精准稳定至 0.06MPa 微压区间，流量可达 40L/min，兼顾高精度与稳定流量需求。

日酸 TANAKA TORR‑LAR 压力调节器专为二次侧微压精密控制设计，调节平稳、无脉动、无冲击，可有效保护后端精密仪器与制程设备，避免压力波动导致的工艺异常与测试误差。外部泄漏率≤1.3×10⁻⁸ Pa・m³/s，达到半导体设备严苛标准，确保气路长期安全运行。设备结构坚固耐用，维护简单，使用寿命长，可大幅降低气路系统运维成本与更换频率。