日本Filgen uv253mini紫外臭氧清洗机应用场景与性能介绍

精密实验对基材洁净度的要求高，哪怕是肉眼不可见的微量有机残留，也会直接造成镀膜脱落、实验数据偏移、器件良品率下降。传统清洗方式各有短板，溶剂浸泡容易腐蚀特殊薄膜基材，超声波清洗会震损薄型试样，人工擦拭不仅效率低，还容易产生二次污染，很难满足高精实验的预处理标准。对于中小型实验室而言，大型真空清洗设备造价高、占地大，实用性极低。