法兰规格:ISO‑80
驱动:三菱伺服电机 M4‑ARJ 驱动规格
动作特性:全关‑全开任意中间位置保持,可存储 13 组开度位置
寿命:100 万次开闭循环
适用工况:高真空腔体排气节流、真空恒压控制
配套控制器:适配 FPC‑181S 压力控制器
阀体材质:不锈钢 SUS
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