半导体晶圆、液晶基板、精密光学元件在生产过程中,表面可能附着微小异物、产生细微划痕、出现抛光不均或雾状缺陷,这些缺陷在普通照明下很难被人眼发现,一旦流入下道工序将造成良率损失,后期返工成本也更高。日本山田光学 YP-250I 高亮度卤素光源装置专为这类宏观表面缺陷检测设计,采用带二向色镜(冷镜)的卤素灯泡,在标准照射距离 220mm 处实现 400,000Lux 以上的超高照度,标准照射光斑直径 φ60mm,高亮度集中照射可清晰凸显工件表面的微小缺陷。
二向色镜技术能够过滤红外热辐射,在提供超高照度的同时降低被照工件的热影响,避免热敏材料受损。使用灯泡为 ELC24V250W(欧司朗 OSRAM),灯泡寿命约 35~50 小时,色温约 3400K 白光。配套专用控制器 HPS-250,输入电源 AC100~240V 50/60Hz,消费电力约 350W,采用直流点灯方式,光量调整为电压调整式,综合变动率 1% MAX(对输入、漂移、温度变动),照度输出稳定。冷却方式为强制风扇空冷,环境温度 0~40℃,控制器尺寸 134(W)×78(H)×253(D)mm,重量约 2.2kg。适用于半导体晶圆表面检查、液晶基板缺陷检测、精密成型品外观检验、光学元件表面检测、金属表面划痕检查等场景,是宏观表面缺陷检测环节的专业照明设备。
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