半导体晶圆、掩模版、光学元件、精密成型品、液晶基板等产品的表面缺陷目视检查,对照明光源的亮度、均匀性、稳定性有高要求。普通照明光源亮度不足、光斑不均匀、热量大,无法清晰显现微米级的表面划痕、异物、抛光不均、雾状等缺陷。日本株式会社インテックス(INTECS)UIH-3D 超高亮度目视检查照明装置采用高亮度卤素灯(100V 650W),在标准照射距离 270mm 处光斑中心最大照度可达约 300,000Lux,500,000Lux 有效照射范围约 φ80mm,配备可控硅调光与多重安全保护功能,是精密产品表面目视缺陷检查的专业照明设备。
规格要点:灯额定值为 100V 650W 高亮度卤素灯;设计照射直径与距离为距灯筒尖 270mm 处直径 φ100mm;最大亮度为上述照射直径中心约 300,000Lux;500,000Lux 照射直径约 φ80mm;双径时距离与亮度为 560mm 处约 75,000Lux;亮度偏差与可变宽度为最大亮度偏差上限 10%、下限 20%,可变宽度 10:1 以上;最大亮度灯寿命 75 小时以上;半亮度灯寿命超过 1800 小时;调光方式为可控硅控制(50/60Hz 自动切换);灯室内部冷却为风扇强制风冷;灯箱内发热监测为温度超过约 130℃时灯强制关闭;灯箱冷却维护功能有(主开关关闭后风扇继续运转至灯室内温度降至约 40℃以下);电源为 AC100V 半变压器型;总重量约 13kg。设备采用高亮度卤素光源,照度高,可清晰显现工件表面的微小划痕、异物、抛光不均、雾状、划伤等缺陷;可控硅调光可在 10:1 以上范围内调节亮度,适配不同检查需求;多重安全保护功能(过热强制关闭、冷却维护)保障设备安全运行与灯泡寿命;灯室采用风扇强制风冷,有效控制灯室温度,延长灯泡与设备寿命。广泛应用于半导体晶圆表面检查、掩模版缺陷检测、光学元件表面检验、精密成型品外观检查、液晶基板缺陷检测、金属表面划痕检查等精密目视检查场景。
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