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日本 Filgen UV253V8 紫外臭氧清洗机 双波长参数逐条解读
UV253V8是Filgen面向基板与精密部件的紧凑型台式紫外臭氧清洗机，属干式、非酸性、非破坏性清洗，无需真空与溶剂即可完成表面预处理。低压汞灯同时辐射184.9nm与253.7nm波段：184.9nm使氧分子解离生成氧原子并形成臭氧，253.7nm被碳氢化合物与臭氧吸收产生活性氧物种；光刻胶、树脂、硅油与助焊剂等有机物吸收紫外能量后化学键断裂，分解产物与活性氧反应生成二氧化碳与水等挥发性小分子脱附，清洗后接触角下降，表面亲水性与涂层附着力得到改善。
参数分四组核对。光源为3支直管熔融石英低压汞灯，波长184.9nm与253.7nm，合成石英灯管与无臭氧灯管为选件；样本标注整机紫外强度28mW/cm2，单灯3.7mW/cm2，照度测量条件以正式规格书为准。清洗腔室204(W)×207(D)×142(H)mm，整机外形400(W)×300(D)×260(H)mm，适配常规8英寸晶圆；腔体为密闭结构，保持0.02MPa耐压，两路进气与一路排气由电磁阀自动控制。氧气、紫外照射与氮气排气定时器均为数字式，门开关联锁同时切断紫外灯与电磁阀电源。
适用薄膜涂层前处理、ITO功能膜清洗、镀膜前基板清洗、光刻胶去除，以及晶圆、镜片、反射镜、太阳能板、LCD面板与电路板等部件清洗，亦可用于电镜试样、AFM悬臂梁、PDMS改性、密封件与助焊剂、切割胶带去除。选配臭氧分解机UV253-OZ、流量计、臭氧检测装置与机械门锁；灯管寿命与材质耐受范围以正式规格书为准。
产品目录
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机械设备
- 磁选机
- 纯水器
- 超声波清洗器
- 压力传感器
- 流量控制器
- 乳钵机
- 水准仪
- 变送器
- 臭氧检测仪
- 色谱仪
- 抛光机
- 加热器
- 张力计
- 混凝土检测仪
- 加热板
- 储藏
- 压力机
- 热压机
- 破碎机
- 振荡器
- 电炉
- 分散机
- 切割机
- 往复泵
- 搅拌
- 色选机
- 擂溃
- 臭氧发生器
- 气体发生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相机
- 涂布机
- 镀膜机
- 试验机
- 球磨机
- 均质机
- 脱泡机
- 点焊机
- 干燥机
- 研磨机
- 密度仪
- 擂捣机
- 混合设备
- 除铁机
- 电子
- 填充头
- 装置
- 点胶笔
- 传感器
- 冷却器
- 机器
- 压铸机
- 氧气监视器
- 系统
- 粉碎机
- 轮廓仪
- 测量针
- 过滤器
- 比色计
- 亮度计
- 喷雾干燥机
- 真空加热装置
- 蒸发器
- 化学合成反应装置
- 温度湿度计
- 真空泵
- 循环排水器
- 化学反应装置
- 工业设备
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仪器仪表
- 溶解氧测定仪
- 透过率计
- 电源
- 恒温器
- 蝶阀
- 熔点仪
- 圧力计
- pH计
- 电阻测试仪
- 密封试验仪
- 余氯测定仪
- 流速仪
- 抵抗计
- 绝缘电阻计
- 噪声计
- 深度计
- 记录仪
- 记录器
- 温度仪
- 气体检测仪
- 热电偶
- 粉尘仪
- 磁通计
- 角度计
- 加振器
- 探伤仪
- 氧气计
- 计量泵
- 尺子测量
- 测量仪
- 密度计
- 马弗炉
- 恒温槽
- 压缩机
- 离心泵
- 螺杆泵
- 叶片泵
- 柱塞泵
- 蠕动泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸碱度计
- 浊度计
- 电导率仪
- 盐分计
- 检测仪
- 监测仪
- 色度计
- 分光辐射计
- 差压计
- 压力表
- 料位计
- 电平计
- 比重计
- 流速计
- 工业内窥镜
- 扭矩计
- 应力计
- 检查器
- 检针器
- 温度计
- 摩擦计
- 放大镜
- 粒度仪
- 筛分仪
- 試験機
- 测定仪
- 露点仪
- 电气炉
- 转速表
- 水分计
- 浓度计
- 流量计
- 物位计
- 测厚仪
- 硬度计
- 光纤测定器
- 水分活性测定
- 热风计
- 数字照度计
- 风速计
- 实体显微镜
- 环境测定计
- 躁声计
- 真空计
- 液位计
- 高斯计
- 控制阀
- 压力计
- 喷嘴类
- 泵类
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