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日本 NPS sigma-5+ 四探针电阻率测试仪 选型对照
sigma-5+是NPS面向半导体晶圆与导电薄膜基板的台式电阻率测定器，采用直流四探针法：四支探针等距接触试样表面，外侧两针通入直流电流，内侧两针读取电压降，按探针系数换算方块电阻、体电阻率与电阻值。机内具备每次测量自动调零与自动量程功能，低阻至高阻区间自动选择施加电流；电流极性切换测量抑制整流性误差，厚度补偿范围0.1至9999.9μm，半导体温度补偿系数手动输入，支持测量值平均值显示与打印机平均演算。
选型先按试样电阻水平对照量程。电阻率1.0000mΩ-cm至500.00kΩ-cm，方块电阻1.000mΩ/□至5000.0kΩ/□；施加电流LOW档1000mA至1μA，HIGH档1mA至1μA；测量精度±0.2%，单次约1.5秒，LED五位显示。设备功耗70W，AC100V 50/60Hz，外形260×300×140mm，约5kg；标配电源线与说明书，试样台、四探针探头与打印机为选件。低阻硅片核对LOW档电流能力，高阻薄膜核对HIGH档与方块电阻区间，避免跨档选用。
适用硅锭与晶圆成膜工序、LCD基板成膜检验与导电构件制程检验，覆盖太阳能硅片、金属薄膜与导电膜层的研发、来料与产线质检；粉体电阻不在适用对象内，粉体导电性评价应先与厂家确认夹具方法。现行旗舰sigma-eight继承本机实绩，对既有治具、探针与程序上位互换，升级无需重新设计；表面状态、厚度均匀性、探针压力与温度影响读数，采购前以标准试样比对实测，量程边界与接口配置以正式规格书为准。
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