日本 NISSAN TANAKA TORR-LAR 超高纯气体微压压力调节器 参数解读

参数逐条核对：入口最高使用压力 1.5MPa，出口最高使用压力 0.06MPa，落在二次侧微压调节区间；最大流量 40L/min，条件为 N2、P1 0.1MPa、P2 0.06MPa；使用温度 -5 至 +40℃；出入口口径 3/8 英寸；整机约 5.2kg；外部泄漏率 1.3×10⁻⁸ Pa·m³/s 以下。接气金属部表面粗糙度标准 Ra0.25μm，可选 Ra0.1μm；隔膜与阀体均为 SUS316L，一次室流路内置过滤结构，降低内部泄漏与颗粒释放。洁净组装与全数氦检漏在出厂环节逐台完成，杜绝包装与管路装配引入的微粒污染。