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日本 SEM SELN-001B 有线双轴数字精密水准仪 有线连接与安装验收维护要点

SELN-001B 是日本坂本电机制作所有线式两轴精密数字水准器,由传感器单元与显示器经2m电缆连接构成,与同厂无线式SELN-121BM分工不同:本机不依赖无线通信,适合电磁环境复杂、不允许无线信号外泄的设备就位与验收工位。传感器SUS底座φ50×H19mm,重量轻,可置于晶圆传输腔体、精密平台与机械臂等狭窄位置。
安装与验收按就位、连线、校准、设定、复测五步执行。传感器底面与被测平面贴合,避免油污与切屑垫起;电缆2m固定走线,接头拧紧,避免拉扯。显示器4.3英寸彩色液晶触控,X、Y方向线性角度均为±0.3deg,测量分解能0.0002deg,零点重复精度±0.001deg以下,响应速度50ms以下;显示器画面以气泡图形复现水准器状态,操作人员按目视气泡习惯调平即可。合格角度范围可按0.0001deg单位设定,新手按图形与数值提示操作,减少因人而异的读数偏差。供电采用专用AC适配器DC6V/2A或四节单3电池,现场无电源时以电池供电完成调平。
维护围绕传感器底面、电缆与校准周期展开。传感器SUS底座避免磕碰划伤,底面污染以软布擦拭;电缆接头防止受潮与油污;长期使用后零点漂移按厂家周期返厂复核。同系列SELN-011B为带数据存储有线式,SELN-121BM为无线国内版,SELN-131BM为海外版;本机体使用温度负10至正50℃,显示器W96×D35×H145mm约392g。校准条件、底座配件与数据输出接口以正式规格书为准。


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