多功能微波等离子实验平台！ARIOS MiPC-1000 科研级等离子体实验装置

在材料表面镀膜、等离子体物理研究等科研场景，定制化、高真空、多功能的等离子体实验装置是核心研发工具。日本 ARIOS（アリオス）推出的 MiPC-1000 微波等离子体实验装置，以全自主设计、灵活定制、高参数性能的优势，成为科研级等离子体实验的优选方案。

该装置采用石英导波管正交式等离子体源，搭载 0~1000W、2.45GHz 微波电源，可产生稳定的微波等离子体，适配 DLC 膜制备、碳纳米管生长、等离子体杀菌、真空紫外照射等多种等离子体实验需求。设备支持基板移动机构，可任意设定基板与等离子体的位置，适配多样化工艺；等离子体可直接加热基板，制备金刚石薄膜无需额外加热器，也可通过远程等离子体方式避免基板升温，满足不同实验需求。

装置真空性能优异，搭配涡轮分子泵可实现 5.0×10⁻⁴Pa 以下的高真空，漏率低至 1.0×10⁻⁸Pa・m³/sec，支持 H₂、Ne、N₂、Ar、O₂等多种工艺气体。基板最高加热温度达 1000℃，行程 235mm，可精准调控实验条件；排气系统标配涡轮分子泵，可选配罗茨泵，满足不同真空需求。设备自带推车与减震台，移动部署便捷，操作面板集成化，直观管控各项实验参数。

该装置广泛适用于高校科研实验室、材料研发机构，可用于新型材料研发、等离子体物理基础研究、表面改性工艺优化等场景，覆盖半导体、新能源、材料科学等多个行业，是一款高定制化、高性能的科研级微波等离子体实验装置。