硅半导体 PN 类型快速判定仪 日本 NPS PN-01

日本 NPS PN-01 是一款专为硅半导体材料设计的 P/N 类型判定仪，可通过整流法或热电动势法快速、无损伤地判断硅晶圆、硅锭及块状硅材料的导电类型（P 型或 N 型），也支持 P on N、N on P 等多层结构样品的判定，是半导体制造、来料检验与工艺研发的基础检测工具。

核心技术与功能特点

• 整流性方式（Pin 探针）：专为硅晶圆设计，将晶圆放置在探针台上轻压接触即可判定，不会损伤样品表面，适用于切割、抛光、研磨后的晶圆。

• 热起电力方式（Hot 探针）：专为硅锭、块状硅材料设计，只需将热探针轻压在样品表面即可完成判定，操作便捷。

设备支持 0.001Ω・cm 至 1500Ω・cm 的电阻率范围，可覆盖绝大多数硅半导体材料的检测需求。机身配备 LED 指示灯与指针式仪表，可直观显示判定结果；前面板的调零与灵敏度旋钮，可根据样品特性进行校准，确保判定结果准确可靠。

产品规格与配置

• 型号：PN-01（P/N CHECKER MODEL-01）

• 电源：100VAC 50/60Hz

• 本体尺寸：225W×150D×80H（mm）

• 重量：约 2kg

• 标配：主机、晶圆用探针（PN-01-WP）、锭用热探针（PN-01-GP）

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典型应用场景

• 硅晶圆、硅锭的来料检验与导电类型判定

• 半导体制造过程中的工艺验证

• 多层结构（P on N、N on P）样品的类型判断

• 高校实验室、科研机构的半导体材料基础研究