高精度半导体 / 薄膜电阻率测定仪 日本 NPS sigma-5+

核心性能与技术特点

• 宽范围测量能力：支持从低阻到高阻的宽量程测量，适配不同掺杂浓度的硅材料与导电薄膜，无需更换设备即可完成多种样品的检测。

• 高精度测量与误差抑制：采用电流极性切换测量技术，有效抑制整流效应带来的误差；配备自动调零、自动量程功能，开机自动设置最佳电流，确保测量数据的稳定性与准确性。

• 丰富的校正与计算功能：内置样品厚度校正、半导体温度校正功能，支持多种温度校正参数输入；可计算并显示测量平均值，兼容数据打印机与数据接口，便于数据记录与分析。

• 紧凑桌面设计：小型化机身适配实验室桌面场景，搭配专用样品台（如 RGE-12 晶圆台、RG-5 手动台），可根据样品形态选择合适的探针平台，操作便捷。

典型应用场景

• 硅晶圆、硅芯片的电阻率测量与均匀性评估

• 导电薄膜、涂层的薄层电阻与电阻率检测

• 太阳能电池、半导体器件的工艺验证与来料检验

• 高校实验室、科研机构的材料特性研究