高精度半导体电阻率测量核心部件 NPS 四探针探针 PE3-TEP2

日本 NPS 四探针探针是半导体电阻率测量的核心部件，PE3-TEP2 作为经典型号，以高精度、高耐久性的设计，被全球各大测量仪器制造商作为标准探针采用，是硅晶圆、ITO 薄膜等材料电阻率与薄层电阻测量的关键组件。

核心技术与性能特点

• 高精度与稳定性设计：采用 NPS 有的 “微边缘接触加工处理" 技术，配合高耐久性一体式低电阻金属连接结构，确保探针与样品接触稳定，导电性能优异，为四探针法测量提供可靠的机械与电气基础。

• 高耐久性与可维护性：接触过程中探针变化极小，减少磨损；支持短期维修再生服务，可更换针头、导针等消耗部件，有效控制运行成本。

• 适配多场景测量需求：提供多样化针尖规格，可适配硅晶圆、导电薄膜、块状半导体等多种试样；方形探针等特殊排列型号，也可满足不同测量标准的需求。

• 广泛兼容性：支持 Nautilus、KLA、共和理研等多品牌测量仪器，可通过对应连接器直接使用；同时提供 K-89PS 系列专用安装夹具，适配主流四探针测量架。

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典型应用场景

• 硅晶圆、硅芯片的电阻率与薄层电阻测量

• ITO 薄膜、导电涂层的方阻检测与膜厚评估

• 半导体材料、电子元件的来料检验与工艺验证

• 科研实验室中材料的体积电阻率、表面电阻率（Ω、Ω-cm、Ω/sq）测试