高精度双频 He-Ne 激光干涉仪 EXCEL PRECISION 1001 激光头

核心技术与性能特点

• 塞曼稳频双频激光技术：采用两倍频率的氦氖激光系统，通过纵向磁场使氖原子能级分裂，实现双频输出，频率稳定性高，为干涉仪提供高精度、高重复性的测量基准。

• 高分辨率与测量速度：配合干涉仪系统可实现最小读取分辨率 0.3nm 的位移测量；高分频频率设计支持最高 1.0m/sec 的测量速度，兼顾精度与效率。

• 多轴扩展能力：光学产品相互兼容，最多可支持 6 轴同步测量（搭配 6 台干涉仪与 6 个探测器），适配多自由度精密平台的定位与校准需求。

• 广泛应用适配：专为晶圆 / FPD 步进曝光机、电子束设备、IC 检查设备、超精密工作机等场景设计，也可用于机床精度管理、光学硬件检测等工业领域。

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典型应用场景

• 半导体制造设备（曝光机、光刻机）的位移与定位精度校准

• 精密机床、加工中心的线性、角度、平面度误差检测

• 光学元件、精密平台的位移测量与振动分析

• 科研与工业领域的高精度长度计量与位置反馈系统