技术文章
日本 JFE FiDiCa D 系列广范围膜厚分布测量装置介绍
日本 JFE FiDiCa D 系列广范围膜厚分布测量装置，是专为半导体晶圆设计的高精度膜厚检测设备，覆盖从薄膜到厚膜的宽量程测量，支持晶圆全面扫描与局部高分辨率检测，广泛应用于半导体制造工艺的质量管控。
系列包含两款核心机型：
FDC-D30HU：支持 50nm~100μm 超宽膜厚范围测量，可同时检测薄膜与厚膜材料，适配多种工艺需求。
FDC-D3020：支持 100nm~20μm 膜厚测量，具备高低分辨率双模式，可实现晶圆全面测量与局部高分辨率（50μm）分析，兼顾效率与细节检测。
设备支持 4~12 英寸晶圆检测，单晶圆测量点数可达约 400 万点，测量速度在 10 分钟以内，高效完成全片扫描。空间分辨率最高可达约 5μm，可清晰呈现晶圆局部膜厚分布细节，重复再现性优异，3σ<1.0 纳米（1μm SiO₂膜条件下），确保数据稳定性。
装置可选配 CtoC 输送机，实现自动化生产线上的连续检测，适配大规模量产场景。通过直观的膜厚分布图像，可清晰呈现晶圆表面膜厚均匀性，助力工艺优化与缺陷分析，为半导体制造提供可靠的膜厚数据支持。
凭借广量程覆盖、高分辨率检测、高速扫描与自动化适配的优势，JFE FiDiCa D 系列成为半导体晶圆膜厚分布检测的理想设备，助力企业提升工艺控制精度与产品良率。
产品目录
-
机械设备
- 磁选机
- 纯水器
- 超声波清洗器
- 压力传感器
- 流量控制器
- 乳钵机
- 水准仪
- 变送器
- 臭氧检测仪
- 色谱仪
- 抛光机
- 加热器
- 张力计
- 混凝土检测仪
- 加热板
- 储藏
- 压力机
- 热压机
- 破碎机
- 振荡器
- 电炉
- 分散机
- 切割机
- 往复泵
- 搅拌
- 色选机
- 擂溃
- 臭氧发生器
- 气体发生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相机
- 涂布机
- 镀膜机
- 试验机
- 球磨机
- 均质机
- 脱泡机
- 点焊机
- 干燥机
- 研磨机
- 密度仪
- 擂捣机
- 混合设备
- 除铁机
- 电子
- 填充头
- 装置
- 点胶笔
- 传感器
- 冷却器
- 机器
- 压铸机
- 氧气监视器
- 系统
- 粉碎机
- 轮廓仪
- 测量针
- 过滤器
- 比色计
- 亮度计
- 喷雾干燥机
- 真空加热装置
- 蒸发器
- 化学合成反应装置
- 温度湿度计
- 真空泵
- 循环排水器
- 化学反应装置
- 工业设备
-
仪器仪表
- 溶解氧测定仪
- 透过率计
- 电源
- 恒温器
- 蝶阀
- 熔点仪
- 圧力计
- pH计
- 电阻测试仪
- 密封试验仪
- 余氯测定仪
- 流速仪
- 抵抗计
- 绝缘电阻计
- 噪声计
- 深度计
- 记录仪
- 记录器
- 温度仪
- 气体检测仪
- 热电偶
- 粉尘仪
- 磁通计
- 角度计
- 加振器
- 探伤仪
- 氧气计
- 计量泵
- 尺子测量
- 测量仪
- 密度计
- 马弗炉
- 恒温槽
- 压缩机
- 离心泵
- 螺杆泵
- 叶片泵
- 柱塞泵
- 蠕动泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸碱度计
- 浊度计
- 电导率仪
- 盐分计
- 检测仪
- 监测仪
- 色度计
- 分光辐射计
- 差压计
- 压力表
- 料位计
- 电平计
- 比重计
- 流速计
- 工业内窥镜
- 扭矩计
- 应力计
- 检查器
- 检针器
- 温度计
- 摩擦计
- 放大镜
- 粒度仪
- 筛分仪
- 試験機
- 测定仪
- 露点仪
- 电气炉
- 转速表
- 水分计
- 浓度计
- 流量计
- 物位计
- 测厚仪
- 硬度计
- 光纤测定器
- 水分活性测定
- 热风计
- 数字照度计
- 风速计
- 实体显微镜
- 环境测定计
- 躁声计
- 真空计
- 液位计
- 高斯计
- 控制阀
- 压力计
- 喷嘴类
- 泵类
联系我们
在线客服